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Da die Diffusion der im Inneren der Dichtung gelösten Gase das Zeitverhalten des Desorptionsgasstroms bestimmt, hat die Temperaturabhängigkeit des Diffusionskoeffizienten $D$ einen entscheidenden Einfluss auf die Pumpzeit: \[ D=D_0 \cdot \mbox{exp} \left(-\frac{E_{dif}}{R \cdot T} \right) \] Formel 2-14: Diffusionskoeffizient (T) Mit steigender Temperatur steigt auch der Diffusions-koeffizient an, allerdings nicht so stark wie die Desorptionsrate der Metalloberfläche. Auslegung einer Mikrogasturbine - Turbo Science GmbH. Wir sehen also, dass Elastomerdichtungen durch ihre Desorptionsraten durchaus begrenzend auf den Basisdruck wirken können und deshalb zur UHV-Erzeugung ungeeignet sind. Leckrate und Permeationsrate Der Gasfluss, der durch Undichtigkeiten ins Vakuumsystem einströmt, ist konstant und führt bei einem gegebenen Saugvermögen zu einem Druck: $p_{Leck}=\frac{Q_{Leck}}{S}$ Eine Anlage gilt als hinreichend dicht, wenn dieser Druck kleiner als 10% des Arbeitsdrucks ist. Leckraten von 10 -9 Pa m 3 s -1 sind in der Regel erreichbar und auch für diese Anlage gefordert.
2. 3 Turbopumpstände 2. Auslegung und Berechnung. 3. 1 Auspumpen eines Behälters mit einem Turbopumpstand auf 10 -8 hPa Ein Behälter aus blankem Edelstahl soll in 12 Stunden auf einen Druck von $p_b$ = 10 -8 hPa evakuiert werden. Wie aus Kapitel 1. 3 hervorgeht, sind neben der reinen Auspumpzeit für die Luft weitere Effekte zu berücksichtigen. Die Desorption von Wasserdampf und adsorbierten Gasen sowie das Ausgasen von Dichtungen verlängern die Auspumpzeit.
Daraus ergibt sich ein Druckanteil aus der Leckrate von $p_{Leck}$ = 1, 46 · 10 -11 hPa. Dieser Wert ist nicht störend und kann vernachlässigt werden. Permeationsraten durch Metallwände beeinflussen den in diesem Beispiel geforderten Enddruck nicht, jedoch kann die Diffusion durch Elastomerdichtungen auch im gewählten Beispiel begrenzend auf den Basisdruck wirken. Zusammenfassung Drücke bis zu 10 -7 hPa lassen sich in sauberen Behältern in etwa einem Tag ohne zusätzliche Maßnahmen erreichen. Sollen Drücke bis 10 -4 hPa erreicht werden, so addieren sich die Auspumpzeiten von Vorpumpe und Turbopumpe. Im oben aufgeführten Fall sind dies etwa 200 s. Turbolader auslegung und berechnung berlin. Bei Drücken unterhalb von 10 -6 hPa ist ein hohes Saugvermögen der Turbomolekularpumpe erforderlich, um besonders das von den Metallwänden desorbierende Wasser abzupumpen. Bei Drücken unter 10 -8 hPa sollte man nur Metalldichtungen verwenden, um die hohen Desorptionsraten von Elastomerdichtungen zu umgehen. Leck- und Permeationsraten können bei Drücken bis 10 -10 hPa in Metallbehältern ohne größeren Aufwand genügend klein gehalten werden.